|
|
| 램리서치, 반도체장비 ‘2300 Kiyo F’ 시리즈 및 ‘VECTOR ALD Oxide’ 시스템 출시 |
|
| 반도체의 첨단 패터닝에 필요한 엄격한 공정 제어와 생산성 제공 |
| |
한국에너지절약신문 
|
| |
|
|
반도체 웨이퍼 가공장비 공급사인 램리서치(Lam Research Corp)는 7월 9일 “지난 7월 7일(미국시간) 반도체의 첨단 패터닝에 필요한 엄격한 공정 제어와 생산성을 제공하는 새로운 제품 두 가지를 출시했다”고 밝혔다.
멀티 패터닝 방식은 웨이퍼 식각과 증착 기술을 활용해 광리소그라피(optical lithography) 사용을 확대하게 되며 이 같은 공정을 위해서는 수많은 과정을 거쳐야 한다. 램리서치의 ‘2300? Kiyo? F’ 시리즈 도체 식각 시스템은 최첨단 기술인 Hydra™ Uniformity System을 사용해 웨이퍼 전체에 대한 공정 제어가 가능해 비균일 패턴의 발생을 수정하게 된다. ‘VECTOR? ALD Oxide’ 시스템은 멀티 패턴 시퀀스에서 패턴의 임계치수를 결정하는 높은 등각의 절연박막을 생성시키기 위해 원자층 증착(ALD) 기술을 이용한다.
반도체 제조업체는 광리소그래피가 갖고 있는 한계를 보완하기 위해 더블 혹은 쿼드 패터닝 전략을 이용한다. 이러한 기술을 통해 더 작은 반도체 생산이 가능한데 집적도가 낮고 더 넓은 공간에 프린팅을 한 뒤 크기와 넓이를 축소시켜 원하는 디멘션을 얻을 때까지 리소그래피/식각/증착 공정을 반복해 싱글 패터닝 공정에서 얻는 과정과 비교된다.
이렇게 늘어난 공정 과정은 각각의 공정에서 전체적인 비균일성을 촉발시켜 가변성 유발의 문제는 더욱 심화될 수 있다. 이런 컴파운딩 효과로 인해, 의도한 대로 기기를 동작시키기 위해선 식각 및 증착에 필요한 가변성 허용치는 더욱 엄격해질 필요가 있다. 가변성이 기기 성능과 전력 소비, 생산량에 영향을 줄 수 있기 때문에 공정에 대한 제어가 매우 중요한데, 이는 비용과 시간의 재투입으로 이어질 수 있기 때문이다. 가변성 제어 외에도, 부가 공정 과정에서 생기는 증가된 생산비를 줄이기 위해서도 높은 생산성이 요구된다.
램리서치의 차세대 시장선도 전도체 식각 제품인 ‘2300 Kiyo F’ 시리즈는 Hydra 기술을 이용해 웨이퍼에 생성되는 비균일성에 대한 임계치수를 수정해 패터닝 가변성 문제를 해결한다. 이 시스템의 대칭적인 챔버 디자인은 타고난 균일성의 식각 공정 결과를 제공하는 한편, Hydra 기술은 국지부 수정을 통해 균일성을 더욱 향상시킨다.
전매특허의 하드웨어와 소프트웨어를 사용한 이 기술은 앞으로 발생할 임계치수에 대한 정보를 보여주며, 가변성을 줄이기 위해 웨어퍼 전반에 걸친 ‘미세한’ 부분에서 식각 공정 조건을 조정해 결국 업스트림 공정과정에서 발생하는 가변성을 보완해 준다.
‘Vector ALD Oxide’ 시스템은 원자 규모의 증착 기술을 사용해 탁월한 두께와 균일성, 높은 반복성, 낮은 결함율을 가진 높은 등각의 박막을 생산한다. 이러한 능력은 스페이서 기반의 다중 패터닝 접근을 위해 필수적인 것으로, 증착된 박막은 마스크가 되며 차후 공정 과정에서 패턴의 임계치수를 한정하기 때문이다. Vector ALD Oxide 시스템은 저온에서 박막을 보존할 수 있어 다양한 재료의 스페이서 형성을 가능하게 한다. 이외에도, 이 시스템의 하드웨어 디자인은 빠른 가스 스위칭이 가능하도록 고안되어 경쟁 시스템보다 생산성에서 이점이 있다.
Global Products담당 수석 부사장 릭 고쵸(Rick Gottscho)는 “멀티 패터닝 애플리케이션을 위한 램리서치의 발전된 기술은 우리 고객사들이 안고 있는 가장 궁극적인 문제점 중 하나를 해결하는 데 도움이 되고 있다”고 언급했다. 램리서치는 혁신의 선발주자로 남기 위해 수많은 계획을 갖고 있다. 해당 계획 중에는 첨단 패터닝 솔루션 개발을 위한 imec의 Supplier Hub에 참여하기로 한 것도 포함된다.
고쵸 부사장은 “반도체 업체들이 기기 디자인의 크기를 계속 변경함에 따라, 광리소그래피를 확장해 더 작고, 더 복잡하고, 훨씬 발전된 반도체를 제조하기 위해서 당사의 식각 및 증착 시스템 분야도 점점 더 중요해지고 있다”고 덧붙였다.
한편 램리서치(Lam Research Corp)는 반도체 업계에 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 제공하는 세계적으로 신뢰받는 기업이다. 램리서치의 시장 선도적인 증착, 식각, 스트립, 웨이퍼 클리닝 솔루션은 고객사들이 모래알의 1/1,000 크기의 제품을 만드는 등 더 작고, 더 빠르며, 전력 효율성이 높은 반도체를 제조해 시장에서 성공을 거둘 수 있도록 돕는다.
협력과 끊임없는 혁신, 헌신적 노력을 통해 램리서치는 원자 규모의 기술력을 지닌 회사로 발돋움하고 있으며 고객사들이 미래기술을 준비할 수 있도록 하고 있다. 미국 캘리포니아 프리몬트(Fremont)에 본사를 두고 있는 램리서치는 S&P 500? 기업이며, NASDAQ Global Select Market에서 LRCX의 이름으로 거래되고 있다. 자세한 정보는 http://www.lamresearch.com에서 확인할 수 있다.
/ 한국에너지절약신문 엄재성 기자 news@energysavingnews.kr
|
|
| |
|
|
| |
|
|
| 기사입력: 2014/07/09 [17:26] 최종편집: ⓒ 한국에너지절약신문 |
|
|
| |
 |
기사 내용과 관련이 없는 글, 욕설을 사용하는 등 타인의 명예를 훼손하는
글은 관리자에 의해 예고 없이 임의 삭제될 수 있으므로 주의하시기 바랍니다. |
|
|
|
관련기사목록
|
|
 |
[미국] 마이크로칩, 저전력 임베디드 컨트롤러 신제품군 ‘MEC14XX’ 출시 |
한국에너지절약신문 |
 2015/09/04/ |
|
[미국] 하니웰, 디지털 비디오 매니저 운영자 효율 개선 및 사업 리스크 완화 |
한국에너지절약신문 |
2015/09/03/ |
|
[미국] UDC, 저 Mask OLED Patterning 기술 개발 |
한국에너지절약신문 |
2015/09/02/ |
|
[미국] 시만텍, 보안 지원 IoT 기기 10억대 돌파 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/31/ |
|
[미국] CEVA, RivieraWaves 블루투스 스마트 4.2 플랫폼 IP 인증 발표 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/27/ |
|
[미국] 레이비오, UV LED 제조역량과 글로벌 판매 확대 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/27/ |
|
[미국] 마이크로칩, PIC32MX1/2 32비트 마이크로컨트롤러 시리즈 확장 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/21/ |
|
[미국] ST 차량용 마이크로컨트롤러 STM8A, 새로운 안전 문서 패키지로 ISO26262 인증 간소화 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/21/ |
|
[미국] 몰렉스, 단일 회로 단자 형태의 커넥터 시스템 ‘TermiMate’ 출시 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/20/ |
|
[미국] 아날로직스-GRL, 슬림포트 어답터스 프로그램 확대로 USB-C 커넥터 포함 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/20/ |
|
[미국] 미국 캘리포니아주, 신호등 등 교통신호 관련 제품 조달기회 많아 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/19/ |
|
[미국] 리니어, 60V 듀얼 DC/DC 컨트롤러 신제품 ‘LTC3886’ 출시 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/17/ |
|
[미국] 필, 전 세계 스마트폰 사용자 대상 조사결과 발표 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/17/ |
|
[미국] Mouser Electronics, 마이크로칩 ‘MTCH6303’ 정전용량방식 터치 콘트롤러 판매 개시 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/13/ |
|
[미국] 온세미컨덕터, 자동차 인증 제품 포트폴리오 확대 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/10/ |
|
[미국] 루미네이터 테크놀로지 그룹, 고르바/인베르탁 AG 인수 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/07/ |
|
[미국] 온세미컨덕터, 자동차 전장부품 분야 선도 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/07/ |
|
[미국] CSR, ‘CSRmesh 홈 오토메이션’ 출시 |
한국에너지절약신문 |
2015/08/07/ |
|
[미국] ST, 스마트폰용 2세대 전자식 튜너블 콘덴서 ‘STPTIC G2’ 출시 |
한국에너지절약신문 |
2015/07/30/ |
|
[미국] ST마이크로일렉트로닉스, 자동차 하이사이드 드라이버 출시 |
한국에너지절약신문 |
2015/07/21/ |
|
|
|
|
|
|
